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更新年月日 2009年12月17日
機器設備／生産加工機器
コンピュータ・制御システムの担当別 ⇒
技術支援
機械材料
電子
化学
工芸技術
【担当】は略称で表示しています。正式名称は次の通りです。
企画：企画部 技術支援：技術支援部
機械材料：機械・材料技術部 電子：電子技術部
化学：化学技術部 工芸技術：工芸技術所
各分類ごとの機器は、アルファベット、カタカナ、漢字５０音順に並んでいます。
| 機器名 | 用途 | 担当 | 手数料No. | 使用料No. |
|---|---|---|---|---|
| ３００ミリ手押し鉋盤 | 木材表面の研削加工 | 工芸技術 | 9330 | |
| ４００ミリ自動鉋盤 | 木材表面の研削加工 | 工芸技術 | 9320 | |
| ６００ミリ自動鉋盤 | 木材表面の研削加工 | 工芸技術 | 9310 | |
| ECRプラズマCVD装置 | 半導体／誘導体薄膜作製 | 電子 | 6610 | |
| LPCVD | 多結晶シリコン薄膜、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜の作製 | 電子 | ||
| ＮＣ放電加工機 | 放電加工 | 機械材料 | 0450 | |
| NCルーター | 平面彫刻／溝ほり／穴あけ加工等ルーター加工一般 | 機械材料 | 7730 | |
| ＮＣルータ | 木材のルータ加工 | 工芸技術 | 9461 | |
| アッシャー装置 | 半導体製造プロセス装置／レジストの灰化 | 電子 | 1180 | 6880 |
| イオン注入装置 | 半導体材料への不純物拡散 | 電子 | 1110 | |
| イオンプレーティング装置 | 金属、合金、酸化物、窒化物の成膜 表面処理 | 電子 | ||
| イオンプレーテング実験装置 | 薄膜製造 | 電子 | 1156 1157 1160 1170 | |
| クリープフィード研削装置 | ダイヤモンド砥石、CBN砥石を用いた、セラミックス、サーメット等硬脆材料のクリープフィード研削加工 | 機械材料 | 6280 | |
| コンターマシン | 金属材料等の切断 | 技術支援 | 6210 | |
| サンドブラスター | 表面ブラスト処理 | 工芸技術 | ||
| シルクスクリーン印刷用フィルム出力機 | スクリーン印刷用フィルム作成 | 工芸技術 | 9580 | |
| スポンジサンダー | 木材の研磨仕上げ | 工芸技術 | 9550 | |
| ダイシング装置 | アルミナ等各種基板の精密加工 | 電子 | 1155 | 6840 |
| ダイボンダ | 作製した素子をパッケージに固定 | 電子 | 6790 | |
| ツールチェンジNC加工機 | ルータ軸による切抜き／溝ほり／穴あけ／球面加工等 | 機械材料 | 7720 | |
| ドライエッチング装置 | シリコン系材料の微細ドライエッチング | 電子 | ||
| フライス盤 | 平フライス削り／側面削り／みぞ削り／正面フライス削り／すりわり | 技術支援 | 6370 | |
| プラズマCVD装置 | アモリファスシリコン膜、窒化硅素膜、アモルファス／微結晶化シリコン膜の形成／シリコン系デバイスへの薄膜作製 | 電子 | ||
| フリップチップボンダ | フリップチップ実装／接合試験 | 電子 | ||
| フレキシブル金型ベースブロック | 射出成形 | 化学 | ||
| プレス | 木材の加熱処理による集成加工 | 工芸技術 | 9530 | |
| プレスブレーキ | 曲げ加工 | 技術支援 | 6260 | |
| ボール盤 | 穴明／タッピング | 技術支援 | 6240 | |
| ボンディング装置 | 薄膜電極とリード線の接続 | 電子 | 6780 | |
| マグネトロンスパッター装置 | 薄膜製造 | 電子 | 1158 | |
| マスクアライナ | デバイス作製工程での微細パターンの形成 | 電子 | 6690 | |
| ユニバーサルサンダー | 木材の研磨仕上げ | 工芸技術 | 9520 | |
| ラバープレス | セラミックス、金属などの粉末の静水圧成形 | 機械材料 | ||
| レーザー彫刻機 | 木質系材料の加飾としての彫刻と切断 | 工芸技術 | 9561 | |
| ろくろ | 挽き物加工 | 工芸技術 | 9430 | |
| ワイドベルトサンダー | 木材の研削加工 | 工芸技術 | 9570 | |
| ワイヤー放電加工機 | 材料試験の前処理として、通常の機械加工が困難な材質や複雑形状の部材を加工するために用いる。 | 機械材料 | 4620 | |
| ＥＣＲプラズマエッチング装置 | ドライエッチング加工 | 電子 | 1190 | |
| 遠赤外乾燥機 | 塗料の乾燥 | 工芸技術 | 9480 | |
| 円筒研削盤 | 外周研削／内面研削／テーパー研削／ショルダー研削 | 技術支援 | 6220 | |
| 帯鋸盤 | 金属材料等の切断 | 技術支援 | 6310 | |
| 角のみ盤 | 穴あけ | 工芸技術 | 9360 | |
| 金属粉末射出成形装置 | 金属粉末の射出成形 | 機械材料 | 8820 | |
| 減圧CVD装置(エピタキシャル成長装置) | シリコンのエピタキシャル成長／シリコンカーバイトのエピタキシャル成長 | 電子 | ||
| 減圧溶射微粒子作成装置アーク加熱式超微粒子生成装置 | 不活性ガス中での高融点金属超微粒子の作成／酸化物超微粒子の作成／微細パターンの形成／5vol%水素-Heガス導入可 | 機械材料 | ||
| 現像システム | 基板表面に焼き付けられたパターンを現像 | 電子 | ||
| 顕微鏡試料調整用研磨機 | 金属組織観察やマクロ組織試験用試料を研磨して表面を鏡面に仕上げるために用いる。 | 機械材料 | 0031 0060 0070 | |
| 研磨機 | 新素材(無機系、金属系)のダイヤモンド研磨 | 機械材料 | ||
| 研磨機 | 刃物研磨 | 工芸技術 | 9420 | |
| 研磨機 | 研磨機 | 電子 | 6730 | |
| 高周波スパッタリング装置 | 薄膜作成 | 電子 | 1158 | |
| 高速精密自動切断機 | 試料調整、冶具作成、部品加工 | 機械材料 | ||
| 小型３次元彫刻機 | モデリングワックス等による小型部品の試作 | 機械材料 | ||
| 酸化拡散装置 | 酸化膜形成／半導体ウエハへの不純物拡散 | 電子 | 1120 | 6740 |
| 磁性薄膜用三元スパッタ装置 | 三元RFマグネトロンスパッタ法による単層または多層の磁性膜作製 | 電子 | ||
| 自動鉋盤（バーチカルプレーナー） | 木材表面の平滑仕上げ | 工芸技術 | 9490 | |
| 射出成形機 | 熱可塑性プラスチックの射出成形 | 化学 | ||
| 真空焼付（スクリーン製版用真空焼付機） | スクリーン印刷用の製版作成 | 工芸技術 | 9510 | |
| 切削試験装置 | 切削試験 | 機械材料 | ||
| 切断機 | 砥石による試料の切断 | 機械材料 | 6270 | |
| 旋盤 | 切削加工／切削試験 | 機械材料 | 6350 | |
| 旋盤 | 旋削／ねじ切り | 技術支援 | 6330 | |
| 旋盤 | 旋削／ネジ切り | 技術支援 | 6360 | |
| 旋盤 | 旋削／ねじ切り | 技術支援 | 6340 | |
| 卓上ボール盤 | 穴あけ | 工芸技術 | 9470 | |
| 超音波ウエッジボンダ | アルミ線によるデバイスとリード線の接続 | 電子 | 1153 | 6810 |
| 超音波ボールボンダ | 金線の電線を素子に接続 | 電子 | 1154 | 6770 |
| 超仕上鉋盤 | 木材表面の平滑仕上げ、ずく作成 | 工芸技術 | 9370 | |
| 超精密正面切削装置 | 鏡面切削／ダイヤモンド工具の性能評価／軟質非鉄金属の切削性評価 | 機械材料 | 6290 | |
| 超臨界反応装置 | ラマン分光付き超臨界水反応装置試験 | 化学 | 3311 | |
| 電極形成装置 | 素子の電極、配線を基板に形成 | 電子 | 6620 | |
| 電気炉 | 半導体プロセス／熱処理／酸化／拡散／シンター | 電子 | ||
| 電子線描画装置 （電子ビーム描画装置／EB描画装置／EB露光装置） | 半導体製造装置（半導体プロセス装置） ○ 本装置は、電子線ソグラフィー技術を用いてサブミクロン状の微細パターンをレジスト上に描画するためのものです。 ・フォトリソグラフィーのためのフォトマスク（クロムマスク）の作製 ・各種基板上に微細なパターンを直接に描画【専用の帯電防止剤（エスペイサー）を塗布することにより、絶縁基板上に描画することも可能】 ○ ご利用の一例 ・光集積回路・SAWデバイス・量子効果素子・超伝導素子・ホログラム・マイクロマシンの試作 ・ナノパターニング，ナノ成型金型原盤，無反射構造体など ○ 特徴：対数周期パターンなど関数パターンの描画も可能 ※ 最も微細なパターンの描画実績例 ・ ポジ型レジストZEP-520（日本ゼオン製）で直径60nmのドットパターン ・ シリコン含有無機レジストFOX-14(ダゥコーニング社製)で直径30nmのドットパターン | 電子 | 6920 | |
| 動力ミシン鋸盤 | 木材の切断 | 工芸技術 | 9390 | |
| 塗装設備（局所排気装置） | 塗装 | 工芸技術 | 9450 | |
| 熱間静水圧加圧装置（HIP) | 金属やセラミックス粉末の加圧焼結／焼結品の残留空孔の除去／拡散接合／含浸による複合材料の製造 | 機械材料 | 8870 | |
| 汎用フライス盤 | 平面切削 | 技術支援 | 6320 | |
| 表面現象解析装置超微粒子試料作成装置 | 不活性ガス中での融点〜1500℃程度までの金属超微粒膜の作製／微細パターンの形成 | 機械材料 | ||
| 封止装置 | 半導体センサ等素子のパッケージング | 電子 | 6850 | |
| 平面研削盤 | 金属材料等の研削 | 技術支援 | 6230 | |
| 丸鋸盤（小） | 木材の切断 | 工芸技術 | 9350 | |
| 丸鋸盤（大） | 木材の切断 | 工芸技術 | 9340 | |
| 木工帯鋸盤 | 木材の切断 | 工芸技術 | 9410 | |
| 木工旋盤 | 木材の旋削加工 | 工芸技術 | 9440 | |
| 木工用ドリル研磨機 | 木工用ドリルの研磨機 | 工芸技術 | 9425 | |
| 油圧ハンドプレス機 | 加熱加圧成形 | 化学 | ||
| 油圧プレス | フラッシュパネルなどの圧締・接着／パネルの曲げ強度試験 | 機械材料 | ||
| 有磁場マイクロ波CVD装置(ECR) | 炭素系薄膜作製 | 電子 | ||
| 陽極接合装置 | 半導体と金属又はセラミックスと金属の陽極接合。 | 電子 | 6680 | |
| 陽極接合装置用位置合わせ装置 | マイクロマシン作製 | 電子 | ||
| 立型マシニングセンタ | 工具性能評価、被削性評価、金型・部品加工 | 機械材料 | ||
| 両面マスクアライナ（手動式マスクアライナ／紫外線露光装置） | 半導体製造装置（半導体プロセス装置） ○ 本装置は、フォトリソグラフィー技術を用いてサブミクロン状の微細パターンをサブミクロン・レベルの高い重ね合わせ精度で加工するための手動式両面紫外線露光装置です。フォトマスク（クロムマスク）のパターン転写。 ○ ご利用の一例 ・MEMS（圧力センサー他）、マイクロ成型金型原盤、 LED照明用バックライト用金型原盤、マイクロ流体チップ作製 ・厚膜レジストによる高アスペクト比構造体 ・ナノインプリント加工、高精度張り合わせ（それぞれ専用ジグをご用意いただく必要があります） ・薄膜パターニング用のレジスト加工 | 電子 | 1191 1192 | |
| 冷間鍛造プレス | 小物部品・試料の冷間鍛造 | 機械材料 | 8750 |
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