更新年月日　2009年04月01日

機器設備／表面・内部観察機器／電子（担当）

　表面・内部観察機器の担当別　⇒　　企画　機械材料　電子　化学　工芸技術　

【担当】は略称で表示しています。正式名称は次の通りです。　　企画：企画部　技術支援：技術支援部　
　機械材料：機械・材料技術部　電子：電子技術部　　化学：化学技術部　工芸技術：工芸技術所

各分類ごとの機器は、アルファベット、カタカナ、漢字５０音順に並んでいます。

機器名	用途	担当	手数料No.
ノマルスキー干渉顕微鏡	表面・凹凸観察	電子
走査プローブ顕微鏡	表面状態の観察	電子	1780 1781
超深度形状測定顕微鏡（カラーレーザ顕微鏡）	３次元形状測定／膜厚測定	電子	1150 1151
透過型電子顕微鏡	反射電子線回折／透過電子顕微鏡観察／制限視野回折／RHEED	電子	1020 1710 1720 1730 1740 1750 1760 1770

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