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更新年月日 2011年03月10日
機器設備／試料調製用機器／電子（担当） 【担当】は略称で表示しています。正式名称は次の通りです。
企画：企画部 技術支援：技術支援部
機械材料：機械・材料技術部 電子：電子技術部
化学：化学技術部 工芸技術：工芸技術所
各分類ごとの機器は、アルファベット、カタカナ、漢字５０音順に並んでいます。
| 機器名 | 用途 | 担当 | 手数料No. | 使用料No. |
|---|---|---|---|---|
| TEM試料作製装置用試料打ち抜き装置 | 透過電子顕微鏡用試料の作製 | 電子 | 1760 1770 | |
| TEM用ディンプラー | 透過電子顕微鏡用試料の作製 | 電子 | ||
| TEM用ビームエッチング装置 | 透過電子顕微鏡用試料の作製 | 電子 | 1760 1770 | |
| クライオスタット | 半導体・超伝導体材料の種々の(電気抵抗、ホール抵抗等)温度特性の測定に用いる。 | 電子 | 8040 | |
| クリーンオーブン | レジスト、ポリイミド等熱硬化 | 電子 | 6970 | |
| スピンコータ | レジストのスピンコート | 電子 | ||
| ハンドリングシステム(マイクロマニュピュレータシステム) | 顕微鏡下での微小物の切出し、加工 | 電子 | ||
| 高温小型真空雰囲気炉 | 熱処理炉 | 電子 | 6760 | |
| 低温光特性評価システム(クライオスタット) | 低温でのフォルトルミネッセンス測定 | 電子 | 1060 1070 1080 |
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試料調製用機器の担当別 ⇒